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臭氧使用工程与设备需要监测臭氧浓度，臭氧发生器产生臭氧工作能力在非常大水平上受委屈源的环境湿度、冷却循环水溫度、充放电面的脆化等影响，因此 要常常对臭氧浓度开展检验。对大中型臭氧机器设备，好在步骤中配有高浓度臭氧(汽体)检查仪，并有检验混和后水的溶存臭氧检查仪，也有检验排污的废气中常含臭氧浓度的检查仪。便于操纵全部管理体系处于佳工作情况。